应用介绍

【行业】SEMI

【设备】炉管

【用途】用于晶圆的批量热处理

使用场景

检测石英晶圆舟晶圆是否有突出，防止自动取片时发生异常。

场景：晶舟上wafer的突出检测

解决课题

1、多达150片wafer时的高度检测，容易发生wafer的横向移动,需要稳定检测。

2、因检测距离远，调试时光轴对准难度大。

价值提案

核心产品：距离设定型光电开关 E3Z-LR

●1级激光光源，保证远距离的检测下可检测1mm的位置变化。

●激光束方向的变化可被抑制并且光点直径可自由更改，方便远距离时光轴的调整。

相关产品

E3Z-LT / LR / LL

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/1747/

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